創祀年代不詳。享保6年（1721）に成立した『洲河崎邑天一神縁起巻』に、大永6年（1526）遷宮（中略）、享保4年（1719）地倉屋敷（表参道入り口付近）から、西陰山（熊ケ山、通称空山）の現社地へ奉遷し、本殿、拝殿、随神門を建てたとある。弘化元年（1844）『神社御改帳』に「大川辺り欅御座候」の記述があり、「天一神が大川に水浴びに通られる道に接した田は、一条分田植えをしない」と云う古伝承がある。大永以前は、日野川辺りに社地があったものと思われる。近世まで天一神と称されたが、明治元年に村内鎮座大山祇命を合祀して洲河崎社と改め、同6年、洲河崎神社と改称した。昭和56年に本殿の裏山を拓いて本殿を移築し、幣殿、拝殿を新築した。